半导体制造过程中使用的气体大多具有可燃性、自燃性、腐蚀性等特性，尤其是在晶圆厂制造车间中的废气流通常含有腐蚀性和VOCS有机废气等，在排放到大气之前通过VOCs废气处理设备去除这些气体。这需要在大多数半导体厂制造车间中使用专门用于管理和处理工艺废气流的设备。因此提出安全可靠的废气处理设备装置以及RTO蓄热式焚烧设备，能够对这些气体进行有效处理。

废气处理设备

半导体车间废气处理设备选择标准：

(1)半导体生产车间废气处理设备的选择是根据待消除气体的种类、浓度、流量和压力，减排设备的处理能力，综合考虑农药的寿命、前后与设备的关系等多种情况，挑选合适的处理方法和设备。

(2)半导体生产车间废气处理设备在混合时将会爆炸、起火或造成有害物的气体处理应该是一个独立的系统。

(3)可能有自燃性气体或可燃气体流动的排风管道采用不燃材料。

(4)不可以让半导体生产车间废气处理设备规格中规定的废气以外的废气流动，或准许大量废气流动超出废气处理设备的处理水平。

作为一家废气处理设备一站式解决服务商，公司拥有一支专业、技术过硬的服务团队,面对客户的需求和利益，我们将以全心全意的精神，竭诚提供优质的产品、服务和解决方案。