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半导体制造过程中使用的气体大多具有可燃性、自燃性、腐蚀性等特性，尤其是在晶圆厂制造车间中的废气流通常含有腐蚀性和VOCS有机废气等，在排放到大气之前通过VOCs废气处理设备去除这些气体。这需要在大多数半导体厂制造车间中使用专门用于管理和处理工艺废气流的设备。因此提出安全可靠的废气处理设备装置以及RTO蓄热式焚烧设备，能够对这些气体进行有效处理。

1.塑胶废气来源 塑胶厂在成型、吸塑、压塑、挤塑、注塑、吹塑等工艺流程会产生大量的混合型有机废气。所产生的废气大体可以分为塑料细颗粒物（塑胶烟尘）和挥发性有机气体（VOCs）。这些废气对人体的健康有严重的危害，直接排入大气中会影响周边环境，造成大气污染，因此需要对塑胶厂废气净化处理后达标排放。